等离子清洗机的腔体清洁时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体导入N2和O2，用等离子体清除腔体内残余物，工作10min。
等离子清洗机去油污和一般清洗是不一样的，该设备是干洗的一种，清洗操作非常简单而且效果好，下面具体来看看设备的步骤：
1、用镊子取出来一个重油污金属放到整洁一张白纸上；
2、调整移液枪在100ul刻度，抽取量杯中的蒸馏水，渐渐地滴一滴水蒸馏水在重油渍金属上，仔细观察水滴的形状和铺展具体情况；
3、用镊子取出来第二颗重油污金属，放进石英拖盘上，打开腔门，把拖盘和重油污金属放进真空等离子清洗系统箱体里面，关掉腔门；
4、点开触摸屏主要参数设定，设定清洗的时间，开启开启键，大概30秒后辉光开启，调整功率按钮和充入气体大小；
5、等候清洁时间段结束了，泄压成功，开启腔门，用钳子取出来清洁后的金属样品，放在白纸上；
6、用移液枪渐渐地滴一滴蒸馏水到清洗后的重油污金属上，认真观察水滴形态和铺展具体情况。
通过上述的步骤清洗以后，可以做个鲜明地对比，清洗过后金属表面的水滴铺展能力更好，金属表面的湿润性大大地提高了。
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